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石英舟导片机
产品标签 | 石英舟导片机 导片机
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设备特点:
石英舟 调角机构可根据石英舟需要调节倾角。一般为3度 四节皮带独立运动,互补干涉, 在靠近石英舟的时候可以慢速运行,不至于撞坏硅片而且不影响整机的工作效率。 机器自带入蓝导引装置和校正机构, 可以装入蓝前可能存在的跑偏等现象自动校正 机器配在伸缩皮带装置, 使硅片能够很顺畅的进入石英舟 机器自带缸蓝托架,可根据需要折叠起来, 节省空间 可根据工艺需要完成自动翻片, 自动叠双片, 背靠背叠加, 自动装双片的功能。
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